背景梗概：

如今对快速响应、高灵敏度的微型传感器的需求不断增长。基于集成光学设计的微传感器可在无需使用电线的情况下检测并发送信号。光学微传感器的明显优势在于抗电磁干扰，在易燃易爆介质中的安全性，电气钝性和在高动态范围内的高灵敏度。目前正在开发的不同微型传感器中，PC传感器（光子晶体传感器）因其高灵敏度、占用空间极小、可分布式测量并且可与成熟的SOI技术（硅晶绝缘体技术）结合等特点而备受关注。

发明介绍：

基于光子晶体波导管的微光电子压力传感器是采用平面硅晶绝缘体技术制造的。该设备的操作的原理是利用微光电子波导管周围材料的折射率变化，来改变光通过波导管的传播。在这种传感器中，有个活跃的微型传感元件（该元件包含一个能暂停光学波导的空气桥），可通过光学读出将机械外部输入（包括力、压力、加速度等）转换成光学信号。膜的偏转有效地改变了光子晶体波导管（通过波导管改变传输）周围的折射率。